1 | Max.radni tlak 20,6 Mpa. |
2 | Maks.radna temperatura 204 ℃ (visoka temperatura okoline do 454 ℃, u ovom se trenutku brtveni materijal zamjenjuje ekspandiranim grafitom) |
3 | Primjenjivi su filtarski sustavi zagađivači čestica, plinovi, tekućine. |
4 | Preciznost filtra filtra sinteriranog metalurgijom praha od nehrđajućeg čelika 2μm~40μm |
5 | Protok filtra 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.godišnje |
6 | Filter se može mijenjati. |
Značajke proizvoda Filter
1 | Širok raspon primjene, raspon protoka od 15 do 300SL / min. |
2 | Ima dobru kompatibilnost s većinom poluvodičkih procesnih plinova visoke čistoće. |
3 | 3 kapacitet filtracije nanočestica održava visoku učinkovitost protoka i ultra-mali pad tlaka. |
4 | 5Ra elektropolirana površina može spriječiti unutarnje onečišćenje. |
5 | Pecite s vrućim dušikom nakon deionizirane vode kako biste zadovoljili standarde procesa poluvodiča. |
6 | 1000 razina aseptične radionice za proizvodnju, čišćenje i pakiranje okruženja bez prašine. |
7 | Ispitajte 100% curenje helija. |
Ulaz | Izlaz | |
1 | Cijevni priključak od 1/8″ | Cijevni priključak od 1/8″ |
2 | Cijevni priključak od 1/4″ | Cijevni priključak od 1/4″ |
3 | Cijevni priključak od 3/8″ | Cijevni priključak od 3/8″ |
4 | Cijevni priključak od 1/2″ | Cijevni priključak od 1/2″ |
5 | Cijevni priključak od 6 mm | Cijevni priključak od 6 mm |
6 | Cijevni priključak od 8 mm | Cijevni priključak od 8 mm |
7 | Cijevni priključak od 10 mm | Cijevni priključak od 10 mm |
8 | Cijevni priključak od 12 mm | Cijevni priključak od 12 mm |
9 | 1/8" ženski NPT | 1/8" ženski NPT |
10 | 1/4" ženski NPT | 1/4" ženski NPT |
11 | 1/4″ muški NPT | 1/4″ muški NPT |
12 | 3/8" muški NPT | 3/8" muški NPT |
13 | 1/2″ muški NPT | 1/2″ muški NPT |
Parametri performansi proizvoda filtra
1 | Točnost filtriranja | ≥0,0025 μm | |
2 | Učinkovitost filtracije | Stopa uklanjanja99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Nazivni protok | 15L/min | |
4 | 60L/min | ||
5 | 120L/min | ||
6 | 200L/min | ||
7 | 300L/min | ||
8 | Sastav filtra | filter elemenata | 316L/PTFE |
9 | kućište | nehrđajući čelik 316L | |
10 | Radni uvjeti | Maksimalni ulazni tlak | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Maksimalni diferencijalni tlak | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Maksimalna radna temperatura | 430 ℃ (inertni plin) | |
13 | Stopa istjecanja helija | 1×10-9 atm.cc/sek | |
14 | Završna obrada | ≤Ra 5 μin |