Različite kemikalije i plinovi koji se koriste u proizvodnji poluvodiča zahtijevaju snažne tekućine za neprekidnu opskrbu u svakoj fazi proizvodnje. Ovi sustavi tekućine moraju biti u mogućnosti podržavati ekstremne uvjete procesa potrebne za proizvodnju poluvodiča, istovremeno osiguravajući čist, bez istjecanja i kontroliranog postupka. Stoga je odabir komponenti fluidnog sustava presudan u preciznom procesu proizvodnje poluvodiča.
Odabir visokokvalitetnih komponenti tekućih sustava sinonim je za povećanu učinkovitost proizvodnje i smanjenu zastoju sustava. S obzirom na proces proizvodnje poluvodiča, raspravljat ćemo o kritičnoj ulozi komponenti fluidnog sustava i važnosti njihove pouzdanosti.
Važnost komponenti fluidnog sustava u proizvodnji poluvodiča
Komponente tekućeg sustava u proizvodnji poluvodiča uključuju različite kemijske miješanja, prenošenja i upravljačke sustave za sigurno transport kemijske tekućine u kontroliranom okruženju. Idealan sustav tekućine ima:
➢ Ujednačeno kemijsko miješanje
Kontrola kontaminacije
➢temperatura i kontrola tlaka
➢Interrupted Chemical Supply
Samo najkvalitetnije komponente mogu pružiti takve idealne uvjete u sustavu tekućine poluvodiča. Prednosti korištenja takvih komponenti uključuju:
Točno: Komponente poput ventila, regulatora i pumpi rade u tandemu kako bi se osiguralo da se točan udio kemikalije isporučuje u proizvodnu ćeliju. Precizni unosi uklanjaju rizik od varijacija protoka, što poboljšava kvalitetu konačnog proizvoda.
Kompatibilnost i čistoća: Komponente sustava tekućine s materijalnim sastavima kompatibilne s procesnim tekućinama smanjuju rizik od onečišćenja. Pored toga, instalacija ovih komponenti fluidnog sustava bez curenja smanjuje onečišćenja čestica, pružajući čisto i kontrolirano proizvodno okruženje za poboljšane prinose.
Sigurnost: Plinovi i kemikalije koji se koriste u proizvodnji poluvodiča mogu biti štetni za zdravlje ljudi. Međutim, komponente fluidnog sustava namijenjene sprečavanju curenja i izlijevanja mogu isporučiti ove tekućine proizvodnim jedinicama na siguran i kontroliran način.
Učinkovitost: Izgradnja bez istjecanja i precizna kontrola visokokvalitetnih komponenti tekućeg sustava minimizira operativne zastoj i česte zahtjeve za održavanjem, promičući glatku, učinkovitu proizvodnju kako bi ispunila proizvodne ciljeve.
Kvalitetno proizvedeno rješenja komponenta tekućih sustava
Komponente tekućih sustava zahtijevaju visokokvalitetne instalacije kako bi se zadovoljile izazove izrade poluvodiča. Ključne komponente koje utječu na FAB uključuju:
Ventili: Ventili visokih performansi, poput dijafragme, zvona ili ventila za iglice, idealno reguliraju protok tekućine u proizvodnim pogonima. Izdržljivi, visokokvalitetni ventili pružaju preciznost i kontrolu potrebnu za poboljšanje učinkovitosti procesa proizvodnje i rukovanja za kritičku proizvodnju poluvodiča.
Priključci: Priključci visoke čistoće za sustave cijevi i crijeva i druge kritične komponente pružaju zapečaćene spojeve za poboljšanje sigurnosti i čistoće komponenti sustava fluidnog sustava.
Crijevi: Za precizne proizvodne potrebe, izolirana crijeva pomažu u toplinskom upravljanju tako da se uvjeti procesa unutar proizvodne sobe mogu optimalno održavati. To je važno jer najmanja fluktuacija temperature može oštetiti čipove i dovesti do proizvodnje.
Fleksibilne cijevi: Ako dopuštaju uvjeti, fleksibilne cijevi mogu se koristiti za smanjenje broja okova u sklopu fluidnog sustava. Cijevi su savijeni za dobivanje željene staze tekućine. Manje okova znači manji rizik od curenja i oštećenja zbog vibracija i kretanja.
Regulatori: regulatori učinkovito kontroliraju tlak u svakoj fazi procesa proizvodnje poluvodiča. Stalni i točni protok postiže konzistentne, visokokvalitetne prinose, izbjegavajući izgubljene kemikalije s tekućinom i specijalne materijale.
Filteri: Jedna čestica može utjecati na performanse poluvodiča. Upotreba ultra-visokih filtera čistoće uklanja onečišćenje čestica i minimizira oštećenje čipa.
Učinkovitost tekućih sustava u proizvodnji poluvodiča može se postići širokim rasponom visokokvalitetnih ventila, okova, regulatora, crijeva i filtera.
Post Vrijeme: OCT-09-2023