Upotreba plinova u industriji poluvodiča datira od početka 1950 -ih do 1960 -ih. Tijekom procesa proizvodnje poluvodiča, plinovi se uglavnom koriste za čišćenje i zaštitu poluvodičkih materijala kako bi se osigurala njihova čistoća i kvaliteta. Među najčešće korištenim plinovima su dušik i vodik.
Kako su se razvijali poluvodička tehnologija i proizvodni procesi nastavili poboljšavati, potražnja za plinovima povećavala se. Godine 1970., daljnji razvoj tehnologije za proizvodnju poluvodiča, primjena plinova u ključnim procesima poput jetkanja i taloženja tankih filmova postupno se povećavala, a fluoridni plinovi (npr. SF6) i kisika obično su se koristili plinovi za jetkanje i taloženje. 1980. zabilježeno je daljnje povećanje potražnje za plinovima s razvojem integriranih krugova i povećanjem potražnje za njima. Vodik se široko koristio u procesu proizvodnje, uključujući žarenje vodika i taloženje para vodika. I od 1990. do danas, potražnja za plinovima visoke čistoće i specifičnim plinovima povećala se jer se veličine poluvodičkih uređaja i dalje smanjuju i uvedeni su novi procesi. Na primjer, primjena ekstremne ultraljubičaste litografije (EUV) zahtijeva uporabu izuzetno visoke čistoće kao što su dušik i vodik.
Otkriveni su poluvodički plin s razvojem povezanih proizvoda koji su pokrenuti sve više i više proizvoda, dok plin također pripada izvoru opasnosti, tako da su proizvodi koji se koriste za dekompresiju plina, proizvodi za otkrivanje plina i sprječavaju proizvodi curenja plina, poput regulatora tlaka, ventila za plin, nasuprot plinskog tlaka, i itd. I itd. I itd.
Regulatori tlaka: regulatori tlaka su uređaji koji se koriste za kontrolu tlaka plina. Obično se sastoje od regulacijskog ventila i senzora tlaka. Regulatori tlaka uzimaju ulaz visokog tlaka i stabiliziraju tlak izlaznog plina podešavanjem ventila kako bi se ispunili određeni zahtjevi za primjenu. Regulatori pritiska široko se koriste u područjima kao što su industrija, proizvodnja i laboratoriji, kao i u industriji poluvodiča, između ostalog, kako bi se osigurala stabilnost i sigurnost opskrbe plinom.
Ventili plina: plinski ventili koriste se za kontrolu protoka plinova i za zatvaranje prolaza plina. Obično imaju funkciju uključivanja/isključivanja koja otvara ili zatvara protok plina. Postoje različite vrste plinskih ventila, uključujući ručne ventile, električne ventile i pneumatske ventile. Oni se široko koriste u plinskim sustavima za kontrolu protoka, tlaka i protoka plinova.
Mjerači tlaka plina: mjerači tlaka plina koriste se za mjerenje razine tlaka plina. Obično se instaliraju na kritičnim mjestima u plinskim sustavima kako bi se nadgledali promjene tlaka i osigurali da su unutar sigurnih granica. Mjere tlaka plina naširoko se koriste u industriji, proizvodnji i laboratorijima, a također je uključena i poluvodička industrija.
Detektori curenja plina: Detektori propuštanja plina koriste se za otkrivanje curenja u plinskim sustavima. Oni otkrivajuPrisutnost curenja plina i zvuk alarma tako da se može poduzeti pravovremeno djelovanje kako bi se spriječilo propuštanje. Detektori curenja plina naširoko se koriste u industrijskoj, kemijskoj, naftnoj i plinskoj primjeni, a također je uključena i poluvodička industrija.
Post Vrijeme: veljača-20-2024