Kako tržište poluvodiča raste, standardi za čistoću i točnost postaju strožiji. Jedan od odlučujućih čimbenika u kvaliteti proizvodnje poluvodiča su plinovi koji se koriste u procesu. Ovi plinovi igraju mnoge uloge u proizvodnom procesu, uključujući:
Precizna kontrola procesa
Prevencija zagađenja
Metalurško poboljšanje imovine
Da bi se učinkovito obavljale ove uloge, sustav opskrbe i distribucije plina mora biti učinkovit. Dizajn sustava rukovanja plinom koji se koriste u proizvodnji poluvodiča mora biti podržan čvrstim komponentama i prilagođenim sklopovima kako bi se osigurala pouzdana i kvalitetna proizvodnja poluvodiča.
Plinovi koji se koriste u proizvodnji poluvodiča
Proces proizvodnje poluvodiča zahtijeva uporabu različitih plinova u različitim fazama postupka.
Iako se uobičajeni plinovi poput dušika, vodika, argona i helija mogu koristiti u njihovom čistom obliku, određeni procesi mogu zahtijevati specijalizirane smjese. Silani ili siloksani, heksafluoridi, halogenidi i ugljikovodici su neki od specijalnih plinova koji se koriste u proizvodnji poluvodiča. Mnogi od ovih plinova mogu biti opasni ili vrlo reaktivni, stvarajući izazove u odabiru i dizajnu komponenti za plinske sustave.
Evo nekoliko primjera:
\ Vodik i helij mogu lako procuriti iz sustava cjevovoda i uklapanja zbog svoje male atomske veličine i težine.
\ Silani su vrlo zapaljivi i mogu spontano sagorijevati (autoignit) u zraku.
\ Difluorid dušika koji se koristi u fazama taloženja, jetkanja i komore postaje moćan staklenički plin kada se procuri u okoliš.
\ Vodikov fluorid (jetkani plin) vrlo je korozivan na metalne cjevovode.
\ Trimetilgallium i amonijak mogu biti teško podnijeti - male fluktuacije u njihovim potrebama za temperaturom i tlakom mogu utjecati na postupak taloženja.
Uvjeti kontrole procesa kako bi se umanjili negativni učinci ovih plinova moraju biti glavni prioritet tijekom dizajna sustava. Jednako je važno koristiti komponente najviše kvalitete kao što su AFK ventili za dijafragmu tijekom procesa izrade.
Bavljenje izazovima dizajna sustava
Plinovi poluvodiča u većini su slučajeva visoke čistoće i pružaju inertne uvjete ili pojačavaju reakcije u različitim fazama proizvodnog procesa, poput plinova jetkanja i taloženja. Propuštanje ili kontaminacija takvih plinova može imati negativne učinke. Stoga je kritično za komponente sustava nekada hermetički zapečaćene i otporne na koroziju, kao i glatku površinsku završnu obradu (elektrolitičko poliranje) kako bi se osiguralo da ne postoji mogućnost kontaminacije i da se može održati izuzetno visoka razina čistoće.
Pored toga, neki od ovih plinova mogu se zagrijavati ili hladiti kako bi se postigli željeni uvjeti procesa. Dobro izolirane komponente osiguravaju kontrolu temperature, što je presudno za učinkovite performanse konačnog proizvoda.
Od ulaznog izvora do točke uporabe, AFK-ov širok raspon komponenti podržava ultra-visoku čistoću, temperaturu, tlak i kontrolu protoka potrebnu u poluvodičkim čistima i vakuumskim komorama.
Dizajnirani sustavi s kvalitetnim komponentama u poluvodičkim fabovima
Uloga kvalitetnih komponenti i optimizacije dizajna presudna je za preciznu kontrolu i sigurnu proizvodnju poluvodiča. Korištene komponente moraju biti robusne i bez istjecanja kako bi odgovarale različitim uvjetima procesa koji su potrebni u različitim fazama proizvodnje. AAFK-ovi visokokvalitetni ventili, okovi, regulatori, cjevovode i brtveni nosači karakteriziraju sljedeće značajke:
Ultra visoka čistoća
Brtve bez curenja
Izolacija koja kontrolira temperaturu
Kontrola tlaka
Otpor korozije
Tretman elektrolitičkog poliranja
Post Vrijeme: OCT-09-2023