Proces proizvodnje elektroničkih specijalnih plinova uključuje nekoliko procesa poput sinteze, pročišćavanja, punjenja, analize i ispitivanja, miješanja i proporcije. Kako bi se ispunili zahtjevi za proizvodnju poluvodiča nizvodno za sadržaj čistoće i nečistoće, postupak pročišćavanja je vrlo važan. Ovisno o sastavu plina sinteze uzvodno ili sirovog plina, provodi se destilacija niske temperature ili pročišćavanje u više stupnjeva.
Zahtjevi visoke čistoće
Proces pripreme elektroničkih posebnih plinova može se podijeliti u dva glavna bloka pripreme i pročišćavanja sinteze uzvodne sinteze, koji pripada procesu kemijske proizvodnje. Veličina proizvodnog cjevovoda je velika i ne postoji posebna potreba za čistoćom. Nakon pročišćavanja nizvodno, proizvod se ispunjava plinom i miješa za pripremu. Proizvodni cjevovod je mali i ima zahtjeve na razini čistoće. Treba ispuniti standardnu specifikaciju procesa proizvodnje poluvodiča.
Visoki zahtjevi za brtvljenjem
Zbog svoje kemijske aktivnosti, elektronički specijalni plinovi također postavljaju velike zahtjeve za materijale i brtvljenje sustava proizvodnje. Baš kao i zahtjevi za proizvodnju poluvodiča, sprečava curenje sučelja uzrokovano uvođenjem nečistoća ili korozije posebnih plinova. Sustav se također može koristiti za sprečavanje uvođenja nečistoća ili curenja sučelja uzrokovano korozijom posebnih plinova.
Zahtjevi visoke kvalitete stabilnosti
Kvaliteta elektroničkih specijalnih plinova uključuje brojne pokazatelje kao što su sadržaj čestica čistoće i nečistoće. Svaka promjena u pokazateljima utjecat će na rezultate procesa proizvodnje poluvodiča nizvodno. Stoga je, kako bi se osigurala konzistentnost elektroničkih pokazatelja proizvoda za posebne plinove, sustav procesa pripreme za kontrolu stabilnosti pokazatelja također vrlo važan.
Zbog kemijske aktivnosti i potreba za kvalitetom EGP -a, proizvodni sustav za pripremu EGP -a, posebno sustav za pročišćavanje nizvodno, mora udovoljiti zahtjevima materijala visoke čistoće, visoke brtve, visoke čistoće i visokokvalitetne konzistencije, a izgradnja konstruiranih komponenti mora ispuniti standarde industrije proizvodnje poluvodiča.
Ono što mi obično nazivamo "visokom čistoćom" je teoretski definicija čistoće tvari, poput plinova visoke čistoće, kemikalija visoke čistoće, itd. Procesni sustavi ili komponente procesa koji se primjenjuju na tvari visoke čistoće također se nazivaju visokom čistoćom, poput sustava visokih očiglednosti i ventila s visokim očimama. Sustavi za pripremu elektroničkih specijalnih plinova zahtijevaju opreme visoke čistoće, ventile i druge komponente tekućine, tj. Primjerice i ventile koji se obrađuju materijalima visoke čistoće i čistim proizvodnim procesima, a strukturirani su za jednostavno pročišćavanje i čišćenje. S visokim performansama brtvljenja. Ove komponente tekućine dizajnirane su tako da ispune put protoka procesa primjene, koristeći inženjerske i građevinske potrebe industrije poluvodiča.
Priključci visoke čistoće
VCR Metal brtve za brtve za brtvu i automatski vodič za zavarivanje stražnjice široko se koriste u zahtjevima zahtjeva za postupkom čistoće tekućine zbog mogućnosti ispunjavanja i glatkog prijelaza protočnog puta na spoju, bez stagnacijske zone i visokih performansi brtve.VCR priključci tvore usku površinsku brtvu ekstrudiranjem relativno mekog metalnog bljeska. Ponovljiva i dosljedna povezanost i performanse brtvljenja osiguravaju se svaki put kada se ukloni i zamijeni deformirana brtva.
Cijevi se zavaruju pomoću automatskog orbitalnog sustava zavarivanja. Cijev je zaštićena plinom visoke čistoće iznutra i izvana. Volfromska elektroda rotira se duž orbite radi visokokvalitetnog zavarivanja. Potpuno automatizirano orbitalno zavarivanje topi cijev bez uvođenja drugih materijala, postizanje visokokvalitetnog zavara opetovanim kontrolom tankog zida teško je postići ručnim zavarivanjem.
VCR metalna brtva za brtvu za brtvu
Automatska orbitalna zavarivanje zavarivanja cijevi
Ventili visoke čistoće
Kemijsko djelovanje zapaljivih, eksplozivnih, korozivnih i toksičnih elektroničkih specijalnih plinova postavlja velike potrebe za brtvljenjem ventila. Kako bi se poboljšala pouzdanost brtvljenja, zahtjev ventila bez pakiranja da se spriječi vanjsko curenje, odnosno prebacivanje rada stabljike ventila i tijela ventila između brtve pomoću metalnih zvona ili metalne dijafragme, kako bi se uklonilo curenje zbog abrazije i deformacije pakiranja brtve. Ventili zasađeni i dijafragmi zasjenjeni su u procesnim sustavima za aplikacije visoke čistoće zbog veće pouzdanosti brtve i lakšeg čišćenja i pročišćavanja unutarnjih ventila.
Ventili zakrčene belokonima su konstrukcija iglama bez pakiranja koja omogućava sporo regulaciju otvaranja i protoka. Koristi se za elektroničku specijalnu plinsku punjenje sa sigurnosnim protokom ili na bocama prekursora s visokim sigurnosnim zahtjevima. Brtvi vrha matičnih metala omogućuju izuzetno niske radne temperature i koriste se za kriogeno ukapljenje elektroničkih specijalnih plinova u gotovim spremnicima proizvoda nakon kriogene destilacije za cjevovode.
Ventil za brtvljenje dijafragme bez izvora je ventil za otvaranje 1/4 ″ za upotrebu kao automatski upravljani preklopni ventil u cjevovodu. Obično se koriste u ultra-visokom pritisku, aplikacijama visoke čistoće zbog svog jednostavnog unutarnjeg puta protoka, malog unutarnjeg volumena i lakoće čišćenja i zamjene.
Ventili koji se zatvaraju dijafragmom koji se zatvaraju preko vrha stabljike mogu se polako otvoriti i koristiti pri većim radnim pritiscima od ventila za zasađenim dijafragmom. Naširoko se koriste na visokotlačnim elektronskim specijalnim punjenjem plina ili bocama izvora prekursora.
Ventil sekundarnog brtve ne može se koristiti ne samo u ultra -niskom temperaturnom procesnim sustavima na -200 stupnjeva, već i sprječava istjecanje opasnih medija u atmosferu. Obično se koristi za vrlo opasne elektroničke posebne plinove, kao što je sustav za punjenje silana.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, s više od 10 godina iskustva u opskrbi industrijskih i specijalnih plinova, materijala, sustava opskrbe plinom i inženjerstva plina za poluvodič, LED, DRAM, TCE-LCD tržišta, možemo vam pružiti potrebne materijale za guranje vaših proizvoda na čelu industrije. Ne možemo dostaviti samo širok raspon ventila i okova za poluprovodni elektronički specijalni plinovi, već možemo dizajnirati i ugradnju plina i opreme za naše kupce. Ako imate bilo kakve potrebe na ovom području, kontaktirajte nas na 27919860.
Post Vrijeme: srpanj-19-2023