Tehnologija plina visoke čistoće važan je dio sustava opskrbe plinom visoke čistoće, što je ključna tehnologija za isporuku potrebnog plina s visokom čišću do točke upotrebe i još uvijek održava kvalificiranu kvalitetu; Tehnologija plina visoke čistoće uključuje ispravan dizajn sustava, odabir okova i pribora, konstrukciju i ugradnju i testiranje. Posljednjih godina, sve strožiji zahtjevi za čistoćom i nečistoćom u sadržaju plinova visoke čistoće u proizvodnji mikroelektroničkih proizvoda predstavljenih integriranim krugovima velikih razmjera učinili su sve više zabrinute i naglašene cjevovode plinova visoke čistoće. Slijedi kratak pregled plinskih cjevovoda visoke čistoće iz odabira materijalaof konstrukcija, kao i prihvaćanje i svakodnevno upravljanje.
Vrste uobičajenih plinova
Klasifikacija uobičajenih plinova u elektroničkoj industriji：
Uobičajeni plinovi（Rasuti plin）: vodik (h2), dušik (n2), kisik (o2), Argon (a2) itd.
Specijalni plinoviJesu li SIH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,SIF4 ,Clf3 ,Co,C2F6, N2O,F2,Hf,HBR SF6…… itd.
Vrste posebnih plinova obično se mogu klasificirati kao korozivniplin, otrovanplin, zapaljivplin, zapaljivplin, inertanplin, itd. Najčešće korišteni poluvodički plinovi općenito su klasificirani na sljedeći način.
(i) Korozivno / toksičnoplin: HCl, BF3, WF6, HBR, SIH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, Bcl3... itd.
(ii) Zapaljivostplin: H2, Ch4, Sih4, PH3, Ash3, SIH2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, Co… itd.
(iii) Sagorivostplin: O2, Cl2, N2O, NF3… Itd.
(iv) Inertniplin: N2, Usp.4, C2F6, C4F8,Sf6, CO2, Ne, kr, on… itd.
Mnogi poluvodički plinovi štetni su za ljudsko tijelo. Konkretno, neki od tih plinova, poput SIH -a4 Spontano izgaranje, sve dok propuštanje će nasilno reagirati s kisikom u zraku i početi gorjeti; i Ash3Izuzetno toksično, svako malo curenje može uzrokovati rizik od ljudskog života, to je zbog tih očiglednih opasnosti, pa su zahtjevi za sigurnost dizajna sustava posebno visoki.
Opseg primjene plinova
Kao važna osnovna sirovina moderne industrije, plinski proizvodi se široko koriste, a veliki broj uobičajenih plinova ili posebnih plinova koristi se u metalurgiji, čeliku, nafti, kemijskoj industriji, strojevima, elektronici, staklu, keramici, građevinskim materijalima, građevini, preradi hrane, medicinom i medicinskim sektorima. Primjena plina ima važan utjecaj na visoku tehnologiju ovih polja, a njezin je neophodni plin ili plin s sirovinama. Samo uz potrebe i promociju različitih novih industrijskih sektora i moderne znanosti i tehnologije, proizvode plinske industrije mogu se razviti skokovima i granicama u smislu raznolikosti, kvalitete i količine.
Primjena plina u industriji mikroelektronike i poluvodiča
Upotreba plina uvijek je igrala važnu ulogu u procesu poluvodiča, posebno se poluvodički postupak široko korišten u različitim industrijama, od tradicionalnog ULSI, TFT-LCD do trenutne mikro-elektro-mehaničke industrije (MEMS), a svi oni koriste takozvani proces proizvodnje kao proizvodni proces. Čistoća plina ima odlučujući utjecaj na performanse komponenti i prinosa proizvoda, a sigurnost opskrbe plinom povezana je sa zdravljem osoblja i sigurnošću postrojenja.
Značaj cjevovoda visoke čistoće u transportu plina visoke čistoće
U procesu topljenja i izrade materijala od nehrđajućeg čelika, oko 200 g plina može se apsorbirati po toni. Nakon prerade nehrđajućeg čelika, ne samo na površini ljepljive s različitim onečišćenjima, već i u njegovoj metalnoj rešetki također je apsorbirala određenu količinu plina. Kad prođe zraka kroz cjevovod, metal apsorbira ovaj dio plina ponovno će ući u protok zraka, zagađujući čisti plin. Kad protok zraka u cijevi prekine protok, cijev adsorsira plin pod tlakom, a kad protok zraka prestane prolaziti, plin se adsorbira cijevi formira pad tlaka da se razriješi, a razrijeđeni plin također ulazi u čisti plin u cijevi kao nečistoće. Istodobno se ponavljaju adsorpcija i razlučivost, tako da metal na unutarnjoj površini cijevi također proizvodi određenu količinu praha, a ove metalne čestice prašine također zagađuju čisti plin unutar cijevi. Ova karakteristika cijevi je bitna kako bi se osigurala čistoća transportiranog plina, što zahtijeva ne samo vrlo visoku glatkoću unutarnje površine cijevi, već i visoku otpornost na habanje.
Kada se koristi plin s jakim korozivnim performansama, za cjevovode moraju se koristiti cijevi od nehrđajućeg čelika otpornih na koroziju. Inače, cijev će proizvesti mrlje od korozije na unutarnjoj površini zbog korozije, a u ozbiljnim slučajevima postojat će veliko područje uklanjanja metala ili čak perforacije, koje će kontaminirati čisti plin koji će se distribuirati.
Povezanost plina i distribucije plina visoke čistoće i raspodjele velikih protoka.
U principu, svi su zavareni, a korištene su cijevi da se ne promijene u organizaciji kada se primijeni zavarivanje. Materijali s previsokim udjelom ugljika podliježu propusnosti zraka zavarenih dijelova pri zavarivanju, što čini međusobni prodor plinova unutar i izvan cijevi i uništava čistoću, suhoću i čistoću prenesenog plina, što rezultira gubitkom svih naših napora.
Ukratko, za plinovod plina i posebnog plina, potrebno je koristiti poseban tretman cijevi od nehrđajućeg čelika visoke čistoće, kako bi se napravio cjevovod visoke čistoće (uključujući cijevi, okovi, ventili, VMB, VMP) u distribuciji plina visoke čistoće zauzima vitalnu misiju.
Opći koncept čiste tehnologije za cjevovode za prijenos i distribuciju
Izuzetno čisti i čisti plinski prijenos karoserije cijevima znači da postoje određeni zahtjevi ili kontrole za tri aspekta plina koji se mogu transportirati.
Čistoća plina: Sadržaj atmosfere nečistoće u čistoći GGAS -a: Sadržaj atmosfere nečistoće u plinu, obično se izražava kao postotak čistoće plina, poput 99,9999%, također izražen kao omjer volumena u sadržaju atmosfere nečistoće ppm, ppb, ppt.
Suhoća: Količina vlage u tragovima u plinu ili količina koja se naziva vlažnom, obično se izražava u smislu točke rose, poput atmosferskog tlaka rosišta -70. C.
Čistoća: Broj kontaminantnih čestica sadržanih u plinu, veličinu čestica µm, koliko čestica/m3 za izražavanje, za komprimirani zrak, obično se izražava i u smislu koliko mg/m3 neizbježnih krutih ostataka, koji pokriva udjel ulja.
Klasifikacija zagađivača: čestice zagađivača, uglavnom se odnose na traženje cjevovoda, habanje, koroziju nastaju metalnim česticama, atmosferskim česticama čađe, kao i mikroorganizmima, fagama i kapljicama plina koji sadrže vlagu, itd.
a) Velike čestice - veličina čestica iznad 5 μm
b) Promjer materijala-materijal između 0,1 μm-5 μm
C) Ultra-mikro čestice-Veličina čestica manja od 0,1 μm.
Da bi se poboljšala primjena ove tehnologije, kako bi se moglo percepcijsko razumijevanje veličine čestica i µM jedinica osigurati za referencu, skup specifičnog statusa čestica predviđen je
Slijedi usporedba određenih čestica
| Ime /veličina čestica (µM) | Ime /veličina čestica (µM) | Ime/ veličina čestica (µm) |
| Virus 0,003-0,0 | Aerosol 0,03-1 | Aerosolizirana mikrodropleta 1-12 |
| Nuklearno gorivo 0,01-0,1 | Boja 0,1-6 | Leteći pepeo 1-200 |
| Ugljični crni 0,01-0,3 | Mliječni prah 0,1-10 | Pesticid 5-10 |
| Smola 0,01-1 | Bakterije 0,3-30 | Cementna prašina 5-100 |
| Dim cigarete 0,01-1 | Pješčana prašina 0,5-5 | Pelud 10-15 |
| Silikon 0,02-0,1 | Pesticid 0,5-10 | Ljudska kosa 50-120 |
| Kristalizirana sol 0,03-0,5 | Koncentrirana sumporna prašina 1-11 | Morski pijesak 100-1200 |
Post Vrijeme: lipanj-14-2022.